環氧乙烷滅菌是一種低溫滅菌過程，旨在對對熱和/或濕氣敏感的儀器或設備進行滅菌。ETO是一種易燃易爆的無色氣體。四個基本參數（操作范圍）是：氣體濃度（450至1200毫克/升）; 溫度（37至63°C）; 相對濕度（40至80％）（水分子攜帶ETO到反應位點）; 和暴露時間（1至6小時）。這些影響了ETO滅菌的有效性。在某些限制內，氣體濃度和溫度的升高可縮短實現滅菌所需的時間。
與ETO相關的主要缺點是周期時間長，成本高，以及對患者和工作人員的潛在危害; 主要優點是它可以對熱敏或濕度敏感的醫療設備進行消毒，而不會對醫療設備中使用的材料產生有害影響。急性暴露于ETO可能導致刺激（例如，皮膚，眼睛，胃腸道或呼吸道）和中樞神經系統抑制。慢性吸入與白內障的形成，認知障礙，神經功能障礙和致多發性神經病變有關。醫療機構的職業暴露與血液學變化和自然流產和各種癌癥的風險增加有關。ETO應被視為已知的人類致癌物質。